สืบค้นงานวิจัย
เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ
นิรันดร์ วิทิตอนันต์ - มหาวิทยาลัยบูรพา
ชื่อเรื่อง: เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ
ชื่อเรื่อง (EN): Nano-Thin film coater by vacuum evaporation technique
ผู้แต่ง / หัวหน้าโครงการ: นิรันดร์ วิทิตอนันต์
บทคัดย่อ: เครื่องเคลือบระบบระเหยสารสาหรับฟิล์มบางนาโนถูกสร้างและทดสอบในโครงการวิจัยนี้ เครื่องเคลือบที่สร้างมีส่วนประกอบหลัก 3 ส่วน ได้แก่ (1) ส่วนสุญญากาศ (vacuum parts) ประกอบด้วยห้องเคลือบทรงกระบอกทาจากสเตนเลส ความสูงเท่ากับ 285 mm มีเส้นผ่าศูนย์กลางเท่ากับ 205 mm และ ระบบ เครื่องสูบสุญญากาศใช้เครื่องสูบแพร่ไอซึ่งมีเครื่องสูบกลโรตารีเป็นเครื่องสูบท้าย พร้อมวาล์วและมาตรวัดความดัน (2) ส่วนการเคลือบ (coating parts) ประกอบด้วยตัวระเหยสารแบบลวดต้าน ภาคจ่ายไฟฟ้าแรงดันต่า-กระแสสูง และแท่นวางชิ้นงาน และ (3) ส่วนควบคุมการทางาน (control parts) สาหรับคุม ระบบสุญญากาศและการเคลือบ สาหรับผลการทดสอบเครื่องเคลือบใน 2 ด้านคือ (1) ด้านสุญญากาศ พบว่าเครื่องเคลือบที่สร้างขึ้นสามารถลดความดันในห้องเคลือบจากความดันบรรยากาศ (10+3 mbar) ลงมาเท่ากับ 4.5x10-5 mbar ในเวลา 10 นาที และ (2) ด้านการเคลือบ พบว่าสามารถเคลือบฟิล์มบาง อะลูมิเนียมที่มีลักษณะเนียบเรียบและสม่าเสมอดี
บทคัดย่อ (EN): In this research project, the coating system for nano scale thin film by evaporation technique were constructed and tested. The coater has mainly 3 parts as (1) the vacuum part which composes of cylindrical stainless steel chamber with 285 mm of height, diameters of 205 mm. The vacuum pumping system consist of the oil diffusion pump back with the rotary pump, valves and pressure gauges, (2) the coating part composes of evapotator with wire resister type, low voltage-high current power supply and substrate holder, and (3) the control part for control vacuum and coating system. The coater system testing showed that (1) the vacuum test, the system can reduce pressure from atmospheric pressure (10+3 mbar) to order of 4.5x10-5 mbar in 10 minute and (2) the deposition test, showed the smooth and good uniform of Al thin film.
บทคัดย่อ: ไม่พบข้อมูลจากหน่วยงานต้นทาง
ภาษา (EN): th
เผยแพร่โดย: มหาวิทยาลัยบูรพา
คำสำคัญ: เครื่องเคลือบในสุญญากาศ
เจ้าของลิขสิทธิ์: มหาวิทยาลัยบูรพา
รายละเอียด: In this research project, the coating system for nano scale thin film by evaporation technique were constructed and tested. The coater has mainly 3 parts as (1) the vacuum part which composes of cylindrical stainless steel chamber with 285 mm of height, diameters of 205 mm. The vacuum pumping system consist of the oil diffusion pump back with the rotary pump, valves and pressure gauges, (2) the coating part composes of evapotator with wire resister type, low voltage-high current power supply and substrate holder, and (3) the control part for control vacuum and coating system. The coater system testing showed that (1) the vacuum test, the system can reduce pressure from atmospheric pressure (10+3 mbar) to order of 4.5x10-5 mbar in 10 minute and (2) the deposition test, showed the smooth and good uniform of Al thin film.
หากไม่พบเอกสารฉบับเต็ม (Full Text) โปรดติดต่อหน่วยงานเจ้าของข้อมูล

การอ้างอิง

นิรันดร์ วิทิตอนันต์. "เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศNano-Thin film coater by vacuum evaporation technique". มหาวิทยาลัยบูรพา. 2558

นิรันดร์ วิทิตอนันต์. "เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศNano-Thin film coater by vacuum evaporation technique". มหาวิทยาลัยบูรพา. 2558. Print.



TARR Wordcloud:
เครื่องเคลือบฟิล์มบางนาโนด้วยเทคนิคระเหยสารในสุญญากาศ
นิรันดร์ วิทิตอนันต์
มหาวิทยาลัยบูรพา
2558
การพัฒนาเครื่องปิดผนึกสุญญากาศข้าวสารถุง การศึกษาสภาวะการทำงานที่เหมาะสมของเครื่องระเหยแบบฟิล์มบางเพื่อการผลิตสารสกัดสะเดาผง การสร้างต้นแบบเครื่องระเหยแบบฟิล์มบางเพื่อการผลิตสารสกัดสะเดาผง เครื่องอบแห้งสุญญากาศร่วมอินฟราเรด การศึกษาการแปรรูปกระดาษเหลือใช้เป็นกระถางปลุกต้นกุหลาบหินชนิดเคลือบสารและไม่เคลือบสาร การเตรียมฟิล์มบางไทเทเนียมไดออกไซด์ เพื่อยับยั้งการเกิดแบคทีเรียด้วยวิธีการพ่นเคลือบโดยเทคนิคพ่นละอองสารเคมี เครื่องผสมน้ำยางพารากับสารเคมีขนาดเล็ก การศึกษาการปนเปื้อนของสารอินทรีย์ไอระเหยจากนิคมอุตสาหกรรมมาบตาพุด การออกแบบและสร้างเครื่องกลั่นน้ำมันหอมระเหยจากผิวมะกรูด รายงานการวิจัยเครื่องกลั่นน้ำมันหอมระเหยขนาดเล็กโดยใช้ท่อความร้อนในการควบแน่นน้ำมันหอมระเหย
คัดลอก URL
กระทู้ของฉัน
ผลการสืบค้นทั้งหมด โพสต์     เรียงลำดับจาก
พัฒนาระบบโดยศูนย์ความรู้เฉพาะด้านวิศวกรรมความรู้และวิศวกรรมภาษาDeveloped by Center of Excellence for Unified Knowledge and Language Engineering
สนับสนุนโดยสำนักงานพัฒนาการวิจัยการเกษตร (องค์การมหาชน)Supported by the Agricultural Research Development Agency (Public Organization)
แบบสำรวจความพึงพอใจQuestionair