สืบค้นงานวิจัย
การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริก
ชูพงษ์ ภาคภูมิ - มหาวิทยาลัยแม่โจ้
ชื่อเรื่อง: การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริก
ชื่อเรื่อง (EN): Development of surface dry etching system under vacuum pressure by microwave plasma for fabricating of thermoelectric generator
ผู้แต่ง / หัวหน้าโครงการ: ชูพงษ์ ภาคภูมิ
หน่วยงานสังกัดผู้แต่ง:
  1. มหาวิทยาลัยแม่โจ้
บทคัดย่อ: งานวิจัยนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อพัฒนากระบวนการเคลือบชั้นโลหะบางเพื่อทำหน้าที่เป็นขั้ว อิเล็คโทรดและทำหน้าที่เป็นตัวเร่งในการสังเคราะห์ท่อนาโนคาร์บอนเพื่อประดิษฐ์อุปกรณ์เครื่อง กำเนิดไฟฟ้ าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริกในอนาคต ชุดเคลือบชั้นโลหะบางถูกพัฒนาขึ้นใน งานวิจัยนี้โดยวิธี ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริ่ง ทำการทดลองเคลือบโลหะของ ทองแดง ภายใต้ ความดันสุญญากาศที่ 235 ปาสคาล ใช้ศักย์ไฟฟ้า -400 โวลต์ ควบคุมกระแสไฟฟ้าที่ 300 มิลลิแอมป์ ทำการเคลือบเป็นเวลา 6 นาที ได้ฟิล์มบางของทองแดงหนา 250 นาโนเมตรบนวัสดุ ซิลิกอน ทำการตรวจสอบโดยภาพถ่ายด้านข้างด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด สำหรับการสังเคราะห์ท่อนาโนคาร์บอนในงานวิจัยนี้ได้ประกอบชุดปลูกท่อนาโนคาร์บอนแบบตก สะสมไอเชิงเคมีขึ้นใช้เอง ก่อนทำการปลูกท่อนาโนคาร์บอนบนผิวซิลิกอนได้ทำการเคลือบ โลหะทองแดง เหล็ก และนิเกิลเพื่อทำหน้าที่เป็นตัวเร่งปฏิกิริยา ภายใต้การเคลือบเงื่อนไขเดียวกัน คือ เวลาเคลือบ 2 นาที ที่ความดันสุญญากาศ 235 ปาสคาล ศักย์ไฟฟ้า -400 โวลต์และกระแสไฟฟ้า 300 มิลลิแอมป์ ทำการสังเคราะห์ท่อนาโนคาร์บอนภายใต้ความดันสุญญากาศที่ 1,600 ปาสคาล โดยใช้เอทานอลเป็นแหล่งคาร์บอน ทำการปลูกเป็นเวลา 10 นาที ที่อุณหภูมิ 800?C ท่อนาโน คาร์บอนที่สังเคราะห์ได้เป็ นแบบผนังหลายชั้นที่มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของท่อประมาณ 100-200 นาโนเมตร โดยนิเกิลเป็นโลหะเร่งปฏิกิริยาที่ให้จำนวนท่อที่หนาแน่นที่สุดและมีลักษณะ เป็ นเส้นตรงในแนวตั้งทำการตรวจสอบพันธะเคมีที่ประกอบรวมกันเป็ นท่อนาโนด้วยรามาน สเปกโตรสโกปี
บทคัดย่อ (EN): research aims to develop a thin film coating process to act as an electrode and also a catalyst for the synthesis of carbon nanotubes to fabricate a device that convert heat to electricity, called thermoelectric generators, in the future. A dc magnetron sputtering system to coat thin film layers was developed in this research. To test the performance of this system by sputtering copper under vacuum at 235 Pa using voltage of -400 V with controlled current at 300 mA for 6 minutes sputtering time, resulted a thin film with thickness of 250 nm on silicon substrate that examined in the cross-sectional view by scanning electron microscope. For the synthesis of carbon nanotubes, the chemical vapor deposition (CVD) system was developed. Prior to growth the carbon nanotubes on silicon, three different thin-film catalysts that have a function to accelerate chemical reaction; copper, iron and nickel, were coated on silicon. Films were coated under the same coating conditions; coating time 2 minutes, vacuum pressure 235 Pa, bias voltage -400 V and current 300 mA. The synthesis of carbon nanotubes was performed in chemical vapor deposition system under vacuum at 1,600 Pa by using ethanol as a carbon source with processing time 10 minutes at controlled temperature at 800?C. The synthesized carbon nanotubes are the multi-layer wall with a diameter of about 100-200 nm. Nickel is a catalytic metal that provides the most density of nanotubes and vertically tube structure. To investigate the chemical bonding of atoms that assembly forming a nanotube with Raman spectroscopy.
บทคัดย่อ: ไม่พบข้อมูลจากหน่วยงานต้นทาง
ภาษา (EN): th
เอกสารแนบ: https://dric.nrct.go.th/Search/SearchDetail/310404
เผยแพร่โดย: มหาวิทยาลัยแม่โจ้
คำสำคัญ: ความดันสุญญากาศ
คำสำคัญ (EN): vacuum pressure
เจ้าของลิขสิทธิ์: มหาวิทยาลัยแม่โจ้
หากไม่พบเอกสารฉบับเต็ม (Full Text) โปรดติดต่อหน่วยงานเจ้าของข้อมูล

การอ้างอิง

ชูพงษ์ ภาคภูมิ. "การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริกDevelopment of surface dry etching system under vacuum pressure by microwave plasma for fabricating of thermoelectric generator". มหาวิทยาลัยแม่โจ้. 2560

ชูพงษ์ ภาคภูมิ. "การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริกDevelopment of surface dry etching system under vacuum pressure by microwave plasma for fabricating of thermoelectric generator". มหาวิทยาลัยแม่โจ้. 2560. Print.



TARR Wordcloud:
การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริก
ชูพงษ์ ภาคภูมิ
มหาวิทยาลัยแม่โจ้
2560
การพัฒนาเครื่องเคลือบฟิล์มบางบนผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมา การลดความชื้นน้ำผึ้งลำไยด้วยไมโครเวฟภายใต้สภาวะสุญญากาศ การศึกษาศักยภาพการผลิตไฟฟ้าด้วยเทอร์โมอิเล็กตริกโดยใช้ความร้อนเหลือทิ้งจากอุตสาหกรรมน้ำตาลทราย ผลของทังสเตนต่อโครงสร้างจุลภาค ความแข็ง และพฤติกรรมการกัดกร่อนของเหล็กหล่อโครเมียมสูง ในสภาพหล่อ การพัฒนาชุดอุปกรณ์สำหรับการศึกษาระบบการอบแห้งด้วยคลื่นไมโครเวฟภายใต้สภาวะสุญญากาศ : กรณีศึกษาจลนพลศาสตร์การอบแห้งสาหร่ายเตาด้วยวิธีการอบแห้งด้วยคลื่นไมโครเวฟภายใต้สภาวะสุญญากาศ อิทธิพลสารละลายโซเดียมคลอไรด์ต่ออัตราการกัดกร่อนในรอยต่อเกยระหว่างอลูมิเนียมและเหล็กในอุตสาหกรรมรถยนต์ ผลของระดับการกินได้พลังงานต่อการผลิตแก๊สมีเทนในโคเนื้อพื้นเมืองไทย และโคพันธุ์บราห์มันลูกผสม อายุกล้าที่เหมาะสมสำหรับการใช้เครื่องปักดำข้าว ระบบผสมผสานสำหรับการผลิตไฟฟ้าและความร้อนด้วยเซลล์แสงอาทิตย์โดยใช้สารเปลี่ยนสถานะ ระบบผลิตกระแสไฟฟ้าและความร้อนด้วยพลังงานแสงอาทิตย์โดยใช้เทอร์โมอิเล็กทริก ร่วมกับเลนส์น้ำ
คัดลอก URL
กระทู้ของฉัน
ผลการสืบค้นทั้งหมด โพสต์     เรียงลำดับจาก
พัฒนาระบบโดยศูนย์ความรู้เฉพาะด้านวิศวกรรมความรู้และวิศวกรรมภาษาDeveloped by Center of Excellence for Unified Knowledge and Language Engineering
สนับสนุนโดยสำนักงานพัฒนาการวิจัยการเกษตร (องค์การมหาชน)Supported by the Agricultural Research Development Agency (Public Organization)
แบบสำรวจความพึงพอใจQuestionair